電子化學品小知識
陽德科技專注於電子半導體等級化學品的生產,針對客戶,可以提供不同等級的濕製程化學品,往往一般客戶對於品質,往往有不同的迷思。針對生產製程所適用的化學品,可以下表來說明:
试剂级别 | 适用IC线宽范围/μm | 金属杂质含量/ ppb | 颗粒控制 | SEMI标准 | |
粒径/μm | 颗粒/ml | ||||
ULSI | 0.2-0.6 | 1 | 0.5 | 5 | C8 |
VLSI | 0.8-1.2 | 10 | 0.5 | 25 | C7 |
CMOS | 0.8-1.2 | 30 | 0.5 | 50 | C6 |
MOS | 1.0-1.4 | 50 | 0.5 | 100 | C6 |
EL | – | – | – | – | – |
目前台灣半導體化學品,基本上是以製程來區分,也就是市面上常說的0.13um至20奈米。而0.13um主要為6吋,而90nm至20nm為12吋,其他就為8吋。基本上針對化學品的要求,如下:
等級 SEMI標準 元件尺寸 金屬純度
XLSI 相當於SEMI標準4級 建議用於0.09 – 0.20 µm製程 微量金屬 < 0.1 ppt
SLSI 相當於SEMI標準3級 建議用於0.20 – 0.80 µm製程 微量金屬 < 1 ppb
ULSI 相當於SEMI標準2級 建議用於0.80 – 1.20 µm製程 微量金屬 < 10 ppb
VLSI 相當於SEMI標準VLSI 建議用於0.80 – 1.20 µm製程 微量金屬 < 50 ppb
SEMI/EG 相當於SEMI標準1級 建議用於 > 1.20 µm工藝, <100ppb
而台灣主流12吋廠,早已經進入XLSI的製程,而8吋廠,主要是ULSI與SLSI。而台灣基本上已12吋廠為主流,也就是XLSI為客戶主要採購的標準,而中國大陸市場,仍是以6/8吋為主流,這是最大的不同。