陽德科技股份有限公司

陽德科技專注於電子半導體等級化學品的生產，針對客戶，可以提供不同等級的濕製程化學品，往往一般客戶對於品質，往往有不同的迷思。針對生產製程所適用的化學品，可以下表來說明：

试剂级别	适用IC线宽范围/μm	金属杂质含量/ ppb	颗粒控制		SEMI标准
			粒径/μm	颗粒/ml
ULSI	0.2-0.6	1	0.5	5	C8
VLSI	0.8-1.2	10	0.5	25	C7
CMOS	0.8-1.2	30	0.5	50	C6
MOS	1.0-1.4	50	0.5	100	C6
EL	–	–	–	–	–

目前台灣半導體化學品，基本上是以製程來區分，也就是市面上常說的0.13um至20奈米。而0.13um主要為6吋，而90nm至20nm為12吋，其他就為8吋。基本上針對化學品的要求，如下：

等級 SEMI標準 元件尺寸 金屬純度
XLSI 相當於SEMI標準4級 建議用於0.09 – 0.20 µm製程 微量金屬 < 0.1 ppt
SLSI 相當於SEMI標準3級 建議用於0.20 – 0.80 µm製程 微量金屬 < 1 ppb
ULSI 相當於SEMI標準2級 建議用於0.80 – 1.20 µm製程 微量金屬 < 10 ppb
VLSI 相當於SEMI標準VLSI 建議用於0.80 – 1.20 µm製程 微量金屬 < 50 ppb
SEMI/EG 相當於SEMI標準1級 建議用於 > 1.20 µm工藝， <100ppb

而台灣主流12吋廠，早已經進入XLSI的製程，而8吋廠，主要是ULSI與SLSI。而台灣基本上已12吋廠為主流，也就是XLSI為客戶主要採購的標準，而中國大陸市場，仍是以6/8吋為主流，這是最大的不同。